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技術論壇

Metal Etching制程廢氣由氣體變固體時，產生生成物的累積，造成Exhaust Piping阻塞及增加PM loading，如何改善？

對策1）：加裝Heating Jacket，避免廢氣冷凝。

對策2）：氣體管路增加Hot N2 system。